2024(5):71-77.
摘要:
为了实现高速飞片输出和爆炸箔起爆器(Exploding Foil Initiator, EFI)低能发火,依据EFI工作原理,进行Cu桥箔电热仿真、PC(聚氯代对二甲苯)飞片冲击作用参数计算和SU-8加速膛结构确定。基于结构设计参数,采用微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)工艺实现了爆炸箔芯片一体化批量制备,并开展了MEMS集成爆炸箔芯片的桥箔电爆特性、飞片实时速度和冲击起爆性能测试。结果表明:基于小尺寸桥箔结构在较低放电电压下就能够获得较高的飞片速度,并且在加速膛口飞片速度达到峰值速度的96%以上;冲击起爆HNS-IV药柱的最低发火条件为0.22 μF/1 100 V,实现了EFI低能发火。